隨著微電子行業的蓬勃發展，越來越多的潔淨室行車投入使用，該類裝置的檢驗需求量也越來越大，總結了潔淨室的主要標準和對空氣潔淨度的基本要求，歸納了潔淨室起重機相對於常規起重機在配置方面的特點。潔淨室起重機定期檢驗有利於更好地完成該類裝置的正常工作。

常規起重機在使用過程中會不同程度地產生固體顆粒物和靜電吸附塵埃等，滿足不了潔淨室相關法律法規要求。國內外起重機生產廠家對起重機的車輪與軌道、吊鉤、起升機構、集電裝置和供電系統等方面進行改進，採用防塵材料、防塵防靜電塗裝，進行防塵罩、結構封閉等防塵設計。開發出滿足潔淨室使用要求的潔淨室起重機。

潔淨室行車的檢驗需要在潔淨室環境中進行。進入潔淨室前要透過人員淨化、物料淨化用室和設施，並且要換裝防塵服、防塵靴。檢驗實施流程也應做出相應調整。

現場檢驗前的準備：

1）檢驗儀器裝置。檢驗前要和受檢單位確定儀器裝置的使用方案，如果使用自帶儀器，則需要提前聯絡確定好儀器的淨化方案，如果自有儀器不便帶入潔淨室，則需要受檢單位提供相應的可在潔淨室中使用的儀器裝置。

2）防護用品。如果自帶的防護用品達不到進入潔淨室要求，也需要受檢單位提供

3）原始記錄。普通紙張不可帶入潔淨室，受檢單位應提供潔淨室中使用的無塵紙和筆。

4）防塵服裝。受檢單位應提供檢驗人員的防塵服、防塵靴、口罩、頭套等防塵服裝。

5）進入潔淨室相關手續。由於潔淨室的管理要求相對較多，檢驗人員應提前和受檢單位聯絡，辦理好相關手續。