蓋斯帕克-大宗供氣系統

蓋斯帕克-大宗供氣系統

積體電路晶片製造廠多采用此方式供氣,而且還同時設定液氮儲罐作為備用,氧氣和氬氣往往採用超低溫液氧儲罐配以蒸發器的方式供應,氫氣則以氣態方式供應,一般採用鋼瓶組(Bundle)即可滿足生產要求[…]

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