韓某研究院透過ALD技術實現高遷移率 IGZO TAG: ALD沉積IGZO前體遷移率2021-12-13他們的這種專有方法使用到了空間ALD技術,具體來說,他們用這種技術在奈米疊層中沉積了多層氧化銦、氧化鎵和氧化鋅結構,這些內容會在下面作進一步介紹[…]閱讀全文